潔凈室通常有兩者氣流分布方式: 稀釋送風(fēng)和置換送風(fēng)。

采用稀釋送風(fēng)分配方式時(shí)，潔凈室空氣由過濾器排出不停地與送風(fēng)混合，以實(shí)現(xiàn)潔凈室內(nèi)部一致的空氣溫度和濕度。僅從微粒而言，該稀釋動(dòng)作也能將清潔度略低的潔凈室空氣與清潔過濾后的送風(fēng)混合。但清潔已分級(jí)潔凈室不要用上送上回的氣流方式。

由于上送上回的氣流方式在工程上有著系統(tǒng)簡(jiǎn)單、可降低工程造價(jià)的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于不散發(fā)粉塵的、非無菌產(chǎn)品的低級(jí)別的潔凈區(qū)，還是可以考慮采用的。

在配備了高效送風(fēng)口(一般是覆蓋在終端高效過濾器正面的多孔面板)的條件下，稀釋送風(fēng)分配方式較高可適用于 B 級(jí)的潔凈分級(jí)區(qū)域(ISO7 級(jí))。

如采用置換送風(fēng)分配設(shè)計(jì)(例如 A 級(jí)區(qū)域)，則按單一方向流動(dòng)的、清潔的、經(jīng)終端高效過濾器過濾過的空氣，可置換掉潔凈室內(nèi)的懸浮粒子。該設(shè)計(jì)要求高效過濾器的作用范圍能連續(xù)覆蓋整個(gè)天花板，并配備有尺寸規(guī)格正確的低位回風(fēng)或排風(fēng)口。級(jí)別較低的潔凈室 (B 級(jí))可配備多個(gè)天花板送風(fēng)口，其覆蓋率小于 百分之一百以下即可形成向下流動(dòng)的空氣流模 式(塞狀流)。

A 級(jí)區(qū)域必須采用置換送風(fēng)的單向流方式，工藝廢氣的吸風(fēng)點(diǎn)應(yīng)盡量靠近其釋放源，利用安裝在終端高效過濾器正面擴(kuò)散板的送風(fēng)，可改善潔凈室的氣流模式，但可能會(huì)降低均勻混合度和懸浮粒子的稀釋水平。